Россия собрала первый литограф на 130 нанометров

Зеленоградский ЗНТЦ вместе с белорусским «Планаром» и компанией «Лассард» создали первый отечественный литографический степпер на 130 нм — самый сложный станок для производства микросхем. Литографы способны делать единицы стран в мире.

Технология предназначена для выпуска чипов, используемых в автомобильных блоках управления, контроллерах станков, датчиках и микросхемах для банковских карт и документов. Ключевое достижение — разработка эксимерного лазера на длине волны 193 нм, который впервые создан в России.